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辨向(xiang)原理
在(zai)實際應用中，位移(yi)具有(you)兩個(ge)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)，即(ji)選定一個(ge)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)后，位移(yi)有(you)正(zheng)負(fu)之分，因(yin)此用一個(ge)光電(dian)元件測定莫(mo)爾(er)條紋(wen)信(xin)號(hao)確(que)定不了位移(yi)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)。為了辨(bian)向(xiang)(xiang)(xiang)，需要(yao)有(you)π/2相位差(cha)(cha)的(de)(de)兩個(ge)莫(mo)爾(er)條紋(wen)信(xin)號(hao)。如圖2，在(zai)相距(ju)1/4條紋(wen)間距(ju)的(de)(de)位置上安放(fang)兩個(ge)光電(dian)元件，得(de)到兩個(ge)相位差(cha)(cha)π/2的(de)(de)電(dian)信(xin)號(hao)u01和(he)u02，經(jing)過整形后得(de)到兩個(ge)方(fang)波信(xin)號(hao)u01’和(he)u02’。光柵(zha)正(zheng)向(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)動(dong)時u01超前u0290度(du)，反(fan)向(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)動(dong)時u02超前u0190度(du)，故通過電(dian)路(lu)辨(bian)相可確(que)定光柵(zha)運動(dong)方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)。
細分技(ji)術(shu)
隨著(zhu)對(dui)測(ce)量精度要求的(de)(de)提(ti)高(gao)(gao)，以柵距(ju)為單位已(yi)不能滿足要求，需要采取(qu)適(shi)當的(de)(de)措施對(dui)莫爾(er)條紋(wen)(wen)進(jin)行細分。所謂(wei)細分就是在莫爾(er)條紋(wen)(wen)信號變化一(yi)個周(zhou)期內(nei)，發(fa)出若干個脈(mo)沖，以減(jian)少脈(mo)沖當量。如一(yi)個周(zhou)期內(nei)發(fa)出n個脈(mo)沖，則可(ke)使測(ce)量精度提(ti)高(gao)(gao)n備，而每(mei)個脈(mo)沖相(xiang)當于原來柵距(ju)的(de)(de)1/n。由(you)于細分后計數脈(mo)沖頻率提(ti)高(gao)(gao)了n倍(bei)，因此也稱n倍(bei)頻。
通常用的(de)(de)有(you)兩種細分方(fang)法：其一(yi)、直接細分。在(zai)相差(cha)1/4莫爾(er)條(tiao)紋間(jian)距的(de)(de)位(wei)(wei)置上安放兩個(ge)光電元件(jian)，可得到(dao)兩個(ge)相位(wei)(wei)差(cha)90o的(de)(de)電信(xin)號(hao)，用反(fan)相器(qi)反(fan)相后就得到(dao)四(si)個(ge)依(yi)次相差(cha)90o的(de)(de)交(jiao)流(liu)信(xin)號(hao)。同樣(yang)，在(zai)兩莫爾(er)條(tiao)紋間(jian)放置四(si)個(ge)依(yi)次相距1/4條(tiao)紋間(jian)距的(de)(de)光電元件(jian)，也(ye)可獲得四(si)個(ge)相位(wei)(wei)差(cha)90o的(de)(de)交(jiao)流(liu)信(xin)號(hao)，實現四(si)倍(bei)頻細分。其二、電路細分。
